产品中心
主页 > 案例展示 > >> 聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物、聚(酰胺酸-甲)共聚物

  专利内容由知识产权出版社提供 专利名称:聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物、聚(酰胺酸-甲亚胺) 共聚物及正型感光性树脂组合物 专利类型:发明专利 发明人:长谷川匡俊,石井淳一 申请号:CN 6.8 申请日:20050727 公开号:CN10104 84 4 2A 公开日:20071003 摘要:本发明提供具有低线性热膨胀系数的聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物及其制造方法、作为其前体 的聚(酰胺酸-甲亚胺)共聚物和含有该共聚物和感光剂的正型感光性组合物、由该组合物得到聚(酰亚 胺-甲亚胺)共聚物的微细图案的微细图案的制造方法。聚(酰亚胺-甲亚胺)共聚物包括式(1)的甲亚胺 聚合单元和式(2)的酰亚胺聚合单元,正型感光性树脂组合物的主要成分即聚(酰胺酸-甲亚胺)包括式 (1)的甲亚胺聚合单元和式(3)的酰胺酸聚合单元。在式(1)~式(3)中,A和D分别表示二价的芳族基或 者脂族基,B表示四价的芳族基或者脂族基。(在式(1)和式(2)中,A和D分别表示二价的芳族基或者脂 族基,B表示四价的芳族基或者脂族基)。 申请人:索尼化学&信息部件株式会社 地址:日本东京都 国籍:JP 代理机构:中国专利代理(香港)有限公司 更多信息请下载全文后查看

13272731473